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          139-2342-9552

          雙軸全自動(dòng)劃片機(jī)

          BT6366 精密砂輪劃片機(jī)

          高效率高精度高性能

          BT6366 精密砂輪劃片機(jī)主要用于半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、miniLED、太陽(yáng)能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍(lán)寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn),將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行切割或開槽。 機(jī)型實(shí)現(xiàn)了晶圓從裝片、對(duì)準(zhǔn)、切割、清洗到卸片的自動(dòng)化操作。該機(jī)型配置了大功率對(duì)向式雙主軸,Z1和Z2軸上都配置了NCS和專用顯微鏡,大幅度減少對(duì)準(zhǔn)和檢查時(shí)間,從而降低人工成本、提高生產(chǎn)效率。

          139-2342-9552 獲取定制化方案

          產(chǎn)品詳情產(chǎn)品參數(shù)樣品案例

          產(chǎn)品介紹

          在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)日益追求精度、效率和自動(dòng)化的今天,一臺(tái)高性能、高穩(wěn)定性的劃片設(shè)備,不僅決定了產(chǎn)線的良率,也關(guān)系到整條供應(yīng)鏈的運(yùn)行成本。BT6366 精密砂輪劃片機(jī),正是為這一挑戰(zhàn)而生的專業(yè)級(jí)解決方案,全面覆蓋從晶圓裝片到成品卸片的每一個(gè)精密環(huán)節(jié)。


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          一機(jī)多能,滿足多種高精度切割需求

          BT6366 被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓、IC封裝(如QFN、DFN、BGA)、miniLED、太陽(yáng)能電池片、電子基片、光學(xué)玻璃等行業(yè)的微細(xì)劃切任務(wù),尤其擅長(zhǎng)對(duì)如下材料的穩(wěn)定加工:

          * 硅(Silicon)
          * 石英(Quartz)
          * 氧化鋁 / 氧化鐵
          * 藍(lán)寶石
          * 砷化鎵(GaAs)
          * 鈮酸鋰(LiNbO?)
          * 光電玻璃、陶瓷等脆性材料

          在高精度、高一致性、高產(chǎn)能的三重標(biāo)準(zhǔn)下,BT6366 憑借強(qiáng)大的核心配置和自動(dòng)化設(shè)計(jì),已成為國(guó)內(nèi)外客戶信賴的核心設(shè)備。

          核心優(yōu)勢(shì):重新定義切割效率與精度

          ? 全流程自動(dòng)化,提高效率、減少人力

          從裝片、視覺對(duì)準(zhǔn)、切割、清洗再到卸片,BT6366 實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化作業(yè),極大地降低人工干預(yù)。搭配智能程序控制系統(tǒng),支持批量任務(wù)快速切換,優(yōu)化整線生產(chǎn)節(jié)奏。

          ? 高性能對(duì)向雙主軸結(jié)構(gòu),提升產(chǎn)能與壽命

          采用Z1/Z2 雙主軸對(duì)向配置,每個(gè)主軸均為高功率空氣靜壓驅(qū)動(dòng),具備更強(qiáng)負(fù)載與更小振動(dòng),有效延長(zhǎng)刀具壽命并提高切割穩(wěn)定性。

          ? 配置NCS接觸檢測(cè)+高精度顯微鏡

          每個(gè)主軸上配置有NCS自動(dòng)接觸檢測(cè)系統(tǒng)與專用顯微鏡視覺系統(tǒng),大幅降低人工校準(zhǔn)時(shí)間,提升對(duì)準(zhǔn)精度,避免微米級(jí)誤差造成的不良率。

          ? 多材料適配能力,滿足復(fù)雜需求

          從8英寸至12英寸晶圓,到各種定制化封裝材料,BT6366 都能靈活適應(yīng),不再為材料切換頻繁而煩惱,是一機(jī)多用、降低設(shè)備投資成本的利器。

          應(yīng)用行業(yè)廣泛,覆蓋從芯片到終端的關(guān)鍵工藝

          BT6366 在多個(gè)高精度加工行業(yè)中表現(xiàn)優(yōu)異,是眾多半導(dǎo)體封測(cè)廠、光電組件廠、LED封裝廠、陶瓷加工廠的首選設(shè)備。

          產(chǎn)品參數(shù)

          項(xiàng)目

          產(chǎn)品型號(hào)

          BT6366 精密砂輪劃片機(jī)


          加工尺寸

          ≤?305mm/□260mm*260mm/定制

          運(yùn)動(dòng)方式

          雙軸對(duì)向式、全自動(dòng)

          X軸

          最大速度

          600mm/s

          直線度

          1.5μm全行程

          Y軸

          有效行程

          310mm

          定位精度

          2μm全行程

          分辨率

          0.1μm

           Z軸

          有效行程

          40mm

          單步步盡量

          0.0001mm

          最大刀輪直徑

          60mm或定制

          T軸

          轉(zhuǎn)動(dòng)角度范圍

          380

          主軸

          最大轉(zhuǎn)速

          60000rpm/min

          額定輸出功率

          直流(DC)1.5/1.8/2.4KW

           基礎(chǔ)規(guī)格

          電源

          三相AC220V/50Hz

          壓縮空氣

          0.5-0.6Mpa、Max420L/min

          切削水

          0.2-0.3Mpa、Max 12L/min

          排風(fēng)流量

          10m3/min

          尺寸(mm)

          1288X1618X1810

          重量

          2000kg


          樣品案例

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