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          139-2342-9552

          雙軸半自動(dòng)劃片機(jī)

          BT3666A 精密砂輪劃片機(jī)

          高效率高精度高性能

          BT3666A 精密砂輪劃片機(jī)主要用于半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、miniLED、太陽(yáng)能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍(lán)寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過(guò)空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn),將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行切割或開(kāi)槽。 機(jī)型實(shí)現(xiàn)了晶圓從裝片、對(duì)準(zhǔn)、切割、清洗到卸片的半自動(dòng)操作。該機(jī)型配置了大功率對(duì)向式雙主軸,Z1和Z2軸上都配置了NCS和專(zhuān)用顯微鏡,大幅度減少對(duì)準(zhǔn)和檢查時(shí)間,從而降低人工成本、提高生產(chǎn)效率。

          139-2342-9552 獲取定制化方案

          產(chǎn)品詳情產(chǎn)品參數(shù)樣品案例

          產(chǎn)品介紹

          應(yīng)用領(lǐng)域:


          IC、QFN封裝、DFN封裝、BGA封裝、LED基板、光學(xué)光電、光通訊等行業(yè)

          可切材料:

          硅片、陶瓷、玻璃、氧化鋁、PCB板、氮化鋁、鈮酸鋰、石英等



          BT3666A 精密砂輪劃片機(jī)為12英寸半自動(dòng)動(dòng)精密劃片機(jī),采用高精密進(jìn)口主要配件,T軸采用DD馬達(dá),重復(fù)精度1μm,穩(wěn)定性極強(qiáng),兼容6"-12"材料,雙CCD視覺(jué)系統(tǒng),性能達(dá)到業(yè)界一流水平


          設(shè)備工作流程:

          1.下取物臂將待切割材料從晶片盒中取出,將待切割材料放置到預(yù)校準(zhǔn)臺(tái)進(jìn)行預(yù)校準(zhǔn),再送到工作盤(pán)上,進(jìn)行劃片作業(yè)。

          2. 上取物臂從工作盤(pán)將切割完成的材料移動(dòng)到清洗盤(pán)上,進(jìn)行二流體清洗和晶片干燥。

          3 .下取物臂將切割完成的材料放回預(yù)校準(zhǔn)臺(tái)進(jìn)行預(yù)校準(zhǔn),再推回晶片盒中。


          產(chǎn)品參數(shù)

          項(xiàng)目

          產(chǎn)品型號(hào)

          BT3666A 精密砂輪劃片機(jī)


          加工尺寸

          ≤?305mm/□390mm×390mm/定制

          運(yùn)動(dòng)方式

          雙軸對(duì)向式、半自動(dòng)

          X軸

          最大速度

          600mm/s

          直線度

          1.5μm全行程

          Y軸

          有效行程

          310mm

          定位精度

          1μm全行程

          分辨率

          0.1μm

           Z軸

          有效行程

          40mm

          單步步盡量

          0.0001mm

          最大刀輪直徑

          60mm或定制

          T軸

          轉(zhuǎn)動(dòng)角度范圍

          380

          主軸

          最大轉(zhuǎn)速

          60000rpm/min

          額定輸出功率

          直流(DC)1.5/1.8/2.4KW

           基礎(chǔ)規(guī)格

          電源

          三相AC220V/50Hz

          壓縮空氣

          0.5-0.6Mpa、Max420L/min

          切削水

          0.2-0.3Mpa、Max 12L/min

          排風(fēng)流量

          10m3/min

          尺寸(mm)

          1500mm(W)×1420mm(D)×1810mm(H)

          重量

          1500kg




          樣品案例

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