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          139-2342-9552

          8-12寸半自動劃片機

          BT3352 精密砂輪劃片機

          高效率高精度高性能

          BT3352 精密砂輪劃片機主要用于半導體晶圓、集成電路、QFN、發光二極管、LED芯片、太陽能電池、熱敏電阻、壓電陶瓷、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉,將晶圓或器件沿切割道方向進行切割或開槽。 

          139-2342-9552 獲取定制化方案

          產品詳情產品參數樣品案例

          產品介紹

          可用于集成電路QFN、壓電陶瓷、發光二極管、分離器件、光通訊器件、LED芯片、熱敏電阻、光學器件、陶瓷電路器件的劃切分離加工。適用于硅、石英、玻璃、藍寶石、氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵和鈮酸鋰等材料的劃切加工。最大兼容8英寸晶圓,具有單主軸和雙主軸的機型。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉,將晶圓或器件沿切割道方向進行切割或開槽。 

          產品介紹:

          ● 1.8KW(2.4KW可選) 大功率直流主軸

          ● 高剛性龍門式結構

          ● T軸旋轉軸采用DD馬達

          ● 進口超高精密級滾柱型導軌

          ● 進口超高精密滾珠型絲桿

          ● CCD雙鏡頭自動影像系統

          ● 友好人機交互界面

          ● 瑞士進口滾柱導軌,精度高,耐用性久,穩定性高,超高直線度,實測0.9μm

          ● 采用進口研磨級超高精密滾珠絲杠,定位精度可達2μm全行程

          ● 自動對焦功能,具有CSP切割功能,具有 在線刀痕檢測功能

          ● NCS非接觸測高,BBD刀破損檢測,自動修磨法蘭功能

          ● 工件形狀識別功能,更加友好人機界面

          ● 自動化程序著提升

          ● 滿足各種加工工藝需求



          產品參數

          項目

          產品型號

          BT3352 精密砂輪劃片機


          加工尺寸

          ?305mm/260mm×260mm或定制

          X軸

          最大速度

          600mm/s

          直線度

          2μm全行程

          Y軸

          有效行程

          310mm

          定位精度

          2μm全行程

          分辨率

          0.1μm

           Z軸

          有效行程

          40mm

          單步步盡量

          0.0005mm

          最大刀輪直徑

          60mm或定制

          T軸

          轉動角度范圍

          380

          主軸

          最大轉速

          60000rpm

          額定輸出功率

          直流1.8/2.4KW

           基礎規格

          電源

          220V/50Hz

          壓縮空氣

          0.5-0.6Mpa、Max220L/min

          切削水

          0.2-0.3Mpa、Max 4L/min

          排風流量

          3m3/min

          尺寸(mm)

          1080X1160X1810

          重量

          1200KG



          樣品案例

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